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              HMDS烘箱/HMDS涂膠系統

              簡要描述:HMDS烘箱/HMDS涂膠系統◆項目產品廣泛應用于航空、航天、軍工、艦船、汽車、石油化工等領域和高等院校及科研單位。

              • 產品型號:
              • 廠商性質:生產廠家
              • 更新時間:2021-03-18
              • 訪  問  量:407

              詳細介紹

              品牌其他品牌產地類別國產
              應用領域醫療衛生,環保,地礦,電子,綜合

              HMDS烘箱/HMDS涂膠系統

              產品用途

              必要性: 

              ◆在半導體生產工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環節,而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細的時候,任何一個環節有一點紕漏, 都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光可膠絕大多數是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的化,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙和氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果顯影。為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學制劑,即HMNOS. 它的英文全名叫HexarmylrazaneHaiDri .化學名稱六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生產以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一-種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起到耦合作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。初,人們用液態的HMDs直接涂到晶片上,然后借著晶片的告訴旋轉在晶片表面形成一層HMDs膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現在的HMDS烘箱。

               

              優點:

              ◆預處理性能更好:由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HDMS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將“去水烘烤”和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100200C的去水烘烤,再借著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。

              ◆處理更加均勻:由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。

              ◆效率高:液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達4盒的晶片。

              ◆更加節省藥液:實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用的藥液還多。

              ◆更加環保和安全: HMDS是有度化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵丑到尾氣處理氣處理機,所以也不會對環境造成污染。

               

              HMDS烘箱/HMDS涂膠系統技術參數

              ◆內膽尺寸:300x300x300mm,450x450x450mm,550x650x550mm

              ◆真空度: 150Mpa ;采用真空泵

              ◆加熱方式:腔體下部及兩側加溫,加熱器為內置加熱板

              ◆溫度: RT+10C -200C;微電腦溫度控制器,控溫準確可靠

              ◆控溫精度: +2%C ( 200C內)

              ◆可放LED芯片(2寸/片) 100片左右

              ◆開箱溫度可以由USER自行設定來降低process時間,政策工藝在50分鐘-90分鐘(按產品所霄而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫)。

              ◆整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100級光刻間凈化環境。鋼化、鋼化玻璃門觀察工作室內物體,一目了然。箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產品經久耐用。

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